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本发明属于MOCVD设备制造领域，提供了一种基于MOCVD设备加热器的隔热板，包括：载片盘，设置在所述载片盘下侧的加热器，以及设置在所述加热器底部的隔热层，所述加热器底部和所述隔热层之间设有隔热板机构；所述加热器底部设有加热器电极，所述加热...
该专利属于江苏鹏举半导体设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鹏举半导体设备技术有限公司授权不得商用。

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