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一种超大台面曝光机双边驱动系统技术方案
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文档序号:33891508
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本实用新型公开了一种超大台面曝光机双边驱动系统,包括支撑机构,所述支撑机构包括固定座,所述固定座的正面固定安装有曝光机构,所述支撑机构用于支撑曝光机构,所述曝光机构包括竖板,所述竖板的下端面安装有驱动机构;本实用新型在支撑机构的作用下能够保...
该专利属于昆山弘圣翔电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山弘圣翔电子有限公司授权不得商用。
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