一种超大台面曝光机双边驱动系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超大台面曝光机双边驱动系统，包括支撑机构，所述支撑机构包括固定座，所述固定座的正面固定安装有曝光机构，所述支撑机构用于支撑曝光机构，所述曝光机构包括竖板，所述竖板的下端面安装有驱动机构；本实用新型专利技术在支撑机构的作用下能够保证曝光机构的工作稳定性；在驱动机的作用下能够带动驱动轴转动，从而能够实现驱动轮和连接齿做圆周运动，从而能够实现传动齿的转动，进而能够实现曝光机的圆周运动，从而能够实现不同角度的曝光目的，且驱动机构对称设置有两个，能够降低安全隐患；而在主动齿与限位板的配合下能够实现整个曝光机构沿纵向移动，从而能够实现不同纵向位置的使用需求。现不同纵向位置的使用需求。现不同纵向位置的使用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种超大台面曝光机双边驱动系统


[0001]本技术属于曝光机
，具体涉及一种超大台面曝光机双边驱动系统。

技术介绍

[0002]曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备；广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。
[0003]现有台框模组因工作物尺寸越来越大，台框整体也需要变大，现台框宽度可达3000mm。在台框增大后，使用原有单边驱动机构时，因受力不够均匀，易造成台框变形，长期使用可能会造成台框滑轨或滑块相对位置变化，从而加大台框移载时的阻力，影响机台运转平稳性具有较大的局限性，为此，我们提出一种超大台面曝光机双边驱动系统。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种超大台面曝光机双边驱动系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种超大台面曝光机双边驱动系统，包括支撑机构，所述支撑机构包括固定座，所述固定座的正面固定安装有曝光机构，所述支撑机构用于支撑曝光机构，所述曝光机构包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超大台面曝光机双边驱动系统，包括支撑机构（1），其特征在于：所述支撑机构（1）包括固定座（105），所述固定座（105）的正面固定安装有曝光机构（2），所述支撑机构（1）用于支撑曝光机构（2），所述曝光机构（2）包括竖板（201），所述竖板（201）的下端面安装有驱动机构（3）。2.根据权利要求1所述的一种超大台面曝光机双边驱动系统，其特征在于：所述支撑机构（1）还包括底板（101），所述底板（101）的上端面滑动安装有滑块（102），所述滑块（102）的上端面固定安装有支撑板（103），所述支撑板（103）的另一端通过连接轴（104）与所述固定座（105）相连接。3.根据权利要求2所述的一种超大台面曝光机双边驱动系统，其特征在于：所述底板（101）的上端面开设有与所述滑块（102）尺寸相适配的滑槽，所述滑块（102）通过滑槽与所述底板（101）形成滑动连接。4.根据权利要求2所述的一种超大台面曝光机双边驱动系统，其特征在于：所述固定座（105）的背面开设有与所述支撑板（103）尺寸相适配的U型槽，所述固定座（105）安装在U型槽内。5.根据权利要求2所述的一种超大台面曝光机双边驱动系统，其特征在于：所述连接轴（104）的两端可拆卸安装有连接件（106），所述连接轴（104）两端的圆周表面设有螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：张红阳，郝庆辉，余秋华，谭东，
申请(专利权)人：昆山弘圣翔电子有限公司，
类型：新型
国别省市：