专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中国科学院半导体研究所
>
反转型太赫兹光电探测器及其制备方法技术
>技术资料下载
下载反转型太赫兹光电探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:33890944
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开提供一种反转型太赫兹光电探测器,包括:衬底,依次叠设于衬底上的缓冲层、第一势垒层、反转型超晶格吸收层、第二势垒层、盖层;其中,反转型超晶格吸收层包括周期性交叉叠设的InAs层和GaSb层,每一周期内叠设的InAs层GaSb层厚度需满足...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。