下载反转型太赫兹光电探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:33890944

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本公开提供一种反转型太赫兹光电探测器,包括:衬底,依次叠设于衬底上的缓冲层、第一势垒层、反转型超晶格吸收层、第二势垒层、盖层;其中,反转型超晶格吸收层包括周期性交叉叠设的InAs层和GaSb层,每一周期内叠设的InAs层GaSb层厚度需满足...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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