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本发明属于气体传感技术领域，具体为一种耐高温高灵敏度气体传感器及其制备方法。本发明包括：在n型重掺杂的SiC衬底上外延一层p型SiC；在p型SiC上再外延生长一层n型重掺杂的SiC，形成npn三明治结构；在三明治结构上形成一个三角形凹槽；在...
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