温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供制造具有拥有可变高度的沟槽的光栅的方法。在一个实例中，一种形成衍射光学元件的方法可包括：在衬底之上提供光学光栅层；在所述光学光栅层之上图案化硬掩模；以及在所述硬掩模之上形成牺牲层，所述牺牲层具有从所述光学光栅层的顶表面测量的非均匀高度。...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。