下载具有多个极化态的铁电器件和其制造方法的技术资料

文档序号:33883974

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种铁电器件,该铁电器件包括半导体沟道区、栅极电极和铁电栅极电介质,该铁电栅极电介质位于沟道区与栅极电极之间,并且包括具有不同结构缺陷密度的多个铁电栅极介电部分。极介电部分。极介电部分。
...
该专利属于桑迪士克科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过桑迪士克科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。