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包含自对准导电触点的存储器装置制造方法及图纸
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下载包含自对准导电触点的存储器装置的技术资料
文档序号:33882153
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本申请案涉及包含自对准导电触点的存储器装置。一些实施例包含设备及形成设备的方法。设备中的一者包含:导电材料层阶,其与电介质材料层阶交错;存储器单元串,其包含延伸穿过导电材料层阶及电介质材料层阶的相应支柱;电介质结构,其形成于狭缝中,狭缝延伸...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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