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一种磁化电子串联共振方法及其装置。该磁化电子串联共振方法，包括步骤：在一反应腔内提供射频电压，以使该反应腔内的气体放电产生等离子体，其中该等离子体中的离子在电场的作用下加速轰击在该反应腔内的靶材，使得该靶材表面的离子溅射出来；和调整在该反应...
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