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本实用新型公开了一种新型超低气压腔体式传感器，包括进气机构、检测机构和处理机构，所述检测机构固定安装于进气机构的顶部，所述进气机构同于外界的气体输入，所述检测机构用于检测外界的待检测部件是否泄漏，所述检测机构的一端与处理机构进行电性连接，所...
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