一种新型超低气压腔体式传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型超低气压腔体式传感器，包括进气机构、检测机构和处理机构，所述检测机构固定安装于进气机构的顶部，所述进气机构同于外界的气体输入，所述检测机构用于检测外界的待检测部件是否泄漏，所述检测机构的一端与处理机构进行电性连接，所述处理机构用于接收处理待检测部件的泄漏信号。本实用新型专利技术测量精度高，反应灵敏，精准度高，这样的设置可以大大提高了测试速度，缩短测试时间，可实现自动检漏，可以耐高压并集成到夹具和其他的自动化设备上，能够在严苛的生产环境中有效地工作，通过几秒的测试时间能准确提供流量0.01cc/min，压力衰减0.1Pa的高精度测试结果。压力衰减0.1Pa的高精度测试结果。压力衰减0.1Pa的高精度测试结果。

【技术实现步骤摘要】
一种新型超低气压腔体式传感器


[0001]本技术涉及超低气压传感器
，具体为一种新型超低气压腔体式传感器。

技术介绍

[0002]在对汽车、航空、电子、医疗设备、制冷设备、家用电器、燃气设备等机器装置进行制造生产时，需要对装置内部的零件进行气密性的检测，保证生产出来的机器零件符合使用及安全的要求，对装置进行气密性检测时，要用到气密检漏仪装置进行检测。
[0003]而现有检测设备中无法对零部件轻微泄漏进行准确检测，而在汽车航空等领域中微小气体泄漏便会造成极大的安全隐患，并且现有传感器检测设备检测效率较慢，而且气体流量测试精度相对较低，为此，我们提出一种新型超低气压腔体式传感器。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型超低气压腔体式传感器，以解决
技术介绍
中解决的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型超低气压腔体式传感器，包括进气机构、检测机构和处理机构，所述检测机构固定安装于进气机构的顶部，所述进气机构同于外界的气体输入，所述检测机构用于检测外界的待检测部件是否泄漏，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型超低气压腔体式传感器，包括进气机构(15)、检测机构(16)和处理机构(17)，其特征在于：所述检测机构(16)固定安装于进气机构(15)的顶部，所述进气机构(15)同于外界的气体输入，所述检测机构(16)用于检测外界的待检测部件是否泄漏，所述检测机构(16)的一端与处理机构(17)进行电性连接，所述处理机构(17)用于接收处理待检测部件的泄漏信号。2.根据权利要求1所述的一种新型超低气压腔体式传感器，其特征在于：所述检测机构(16)包括壳体(2)、固定座端盖(3)、吸磁环支架(4)、金属膜片(5)、进气管(7)、进气固定座(8)、铜公(9)，所述壳体(2)固定安装于进气机构(15)的顶部，所述壳体(2)的相对侧通过铜公(9)固定安装有吸磁环支架(4)和金属膜片(5)，所述壳体(2)外壁的两侧均固定连接有进气固定座(8)，所述进气固定座(8)的内部设置有进气管(7)，所述进气固定座(8)远离壳体(2)的一侧固定安装有固定座端盖(3)，所述壳体(2)的顶部通过线路板支架(10)固定安装有处理机构(17)。3.根据权利要求2所述的一种新型超低气压腔体式传感器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵丁楚，杨小梅，
申请(专利权)人：深圳市天创精工技术有限公司，
类型：新型
国别省市：