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本实用新型的一种具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，包括靶材安装座及靶材位于烟囱弹顶装置和磁轭冷却组件之间，烟囱弹顶装置安装在阴极屏蔽罩上，阴极屏蔽罩通过螺钉固定在磁轭冷却组件上。更换靶材时，利用磁控溅射设备自带的传样系统抓取靶材安装座边上的...该专利属于北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）授权不得商用。