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本发明公开了一种修整装置及晶圆抛光系统，其中，修整装置包括安装架、升降机构以及检测件，升降机构具有升降驱动件，升降驱动件的安装端与安装架连接，升降驱动件的驱动端适于与磨头连接，升降驱动件具有驱动磨头靠近或远离抛光垫的修磨状态；检测件适于依据...
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