下载一种用于真空镀膜机的工件架转送系统的技术资料

文档序号:33863605

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本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的工件架转送系统,包括真空镀膜机壳、转送机构、至少两个取放料机构和至少两个工件架,真空镀膜机壳设置有真空腔室,在真空镀膜机壳的外周壁设置有真空室口,转送机构包括架设于真空镀膜机壳旁侧半空中的转送导轨,转送导...
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