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本发明提供一种MEMS麦克风的制备方法，包括步骤：提供衬底，形成第一牺牲层；于第一牺牲层中形成第一凹凸结构和第二凹槽；形成振膜材料层；形成第二牺牲层，于第二牺牲层中形成第三凹槽；于第二牺牲层上形成背极材料层，刻蚀出第四凹槽和用于形成背极阻挡...
该专利属于瑶芯微电子科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑶芯微电子科技（上海）有限公司授权不得商用。

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