下载一种大尺寸硅片提料过程防止挂线的装置及方法的技术资料

文档序号:33862001

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本发明公开了一种大尺寸硅片提料过程防止挂线的装置及方法,属于大尺寸硅片切割技术领域,解决了硅片切割过程中硅片切割位置冷却不均匀及提料阶段金刚线与硅片、树脂板之间润滑剂喷射不均匀的问题,降低了切片过程中的切割位置温度不易被散发的问题,该装置包...
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