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还原炉底盘清洗装置制造方法及图纸
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下载还原炉底盘清洗装置的技术资料
文档序号:33858510
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本发明公开了一种还原炉底盘清洗装置,涉及多晶硅生产技术领域,主要目的是安全高效的清理还原炉底盘的垢层。本发明的主要技术方案为:还原炉底盘清洗装置,包括:密封罩体盖合于还原炉底盘,密封罩体的上端连接于吸尘管,密封罩体的上端设有中心孔;转轴腔体...
该专利属于内蒙古大全新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古大全新能源有限公司授权不得商用。
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