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本发明提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，涉及晶圆缺陷检测技术领域，包括底座，所述底座的主体为矩形结构，且底座的顶端面上开设有横向槽，并且底座中所开设的横向槽用于滑动连接有移动座，底座的顶端面上固定连接有支架，解决了现有的在进行检测...
该专利属于苏州中巨苏智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中巨苏智能科技有限公司授权不得商用。

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