一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，涉及晶圆缺陷检测技术领域，包括底座，所述底座的主体为矩形结构，且底座的顶端面上开设有横向槽，并且底座中所开设的横向槽用于滑动连接有移动座，底座的顶端面上固定连接有支架，解决了现有的在进行检测时需要手动对灯罩进行更换，进而会影响对晶圆片的正常观察效率，以及在进行检测工作时手动抓取晶圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便的问题，通过主动调整照射灯照射到晶圆之上的角度变化即可对晶圆片的缺陷进行快速的检测工作，该设计通过对晶圆的翻转角度进行精确化的刻度调整，可以使得其在对晶圆的检测工作时更加精确，并且更加准确。并且更加准确。并且更加准确。

【技术实现步骤摘要】
一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置


[0001]本专利技术属于晶圆缺陷检测
，更具体地说，特别涉及一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置。

技术介绍

[0002]高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，而其在进行生产的过程中因工艺的差别会产生一些表面缺陷，需要灯光照射后进行检测。
[0003]而现有的检测装置多为需要人工对照射灯更换不同颜色的灯罩来实现照射灯发射出白光或黄绿光等检测光照射到晶圆之上，并通过手动握持晶圆片后翻转不同的角度改变光照对晶圆片的照射角度才能进行检测工作，但由于其在进行检测时需要手动对灯罩进行更换，进而会影响对晶圆片的正常观察效率，以及在进行检测工作时手动抓取晶圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本专本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的主体为矩形结构，且底座(1)的顶端面上开设有横向槽，并且底座(1)中所开设的横向槽用于滑动连接有移动座(13)，底座(1)的顶端面上固定连接有支架(2)，支架(2)中横向构件的底侧安装有电动推杆A(3)，电动推杆A(3)的底端安装有导座(4)，导座(4)的内部开设有凹槽，且导座(4)中所开设的凹槽内部安装有电动推杆B(5)，电动推杆B(5)的另一端安装有移动块(6)，电动推杆B(5)与移动块(6)共同组成了调节结构。2.如权利要求1所述一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述移动块(6)的底端安装有照射灯(7)，照射灯(7)用于罩设晶圆，支架(2)的内部安装有电机(8)，电机(8)的底端设置有传动轴，且传动轴穿过支架(2)，并凸出支架(2)，电机(8)的底侧安装有承载架(9)，承载架(9)为十字结构。3.如权利要求2所述一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述承载架(9)的内部开设有滑槽，且承载架(9)的底端为贯通结构，并且承载架(9)的内部安装有侧板(10)，侧板(10)与承载架(9)之间通过弹簧连接，且侧板(10)中...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶井飞，
申请(专利权)人：苏州中巨苏智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：