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本发明属于功能薄膜材料及器件领域，公开了一种改善玻璃基金属铟膜结合力的方法，包括如下步骤：安装In靶材；安装Al靶材或Si靶材；在清洗后的衬底上，射频磁控溅射生长Al2O3薄膜或SiO2薄膜；在Al2O3薄膜或SiO2薄膜上，直流磁控溅射生...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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