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本发明提供一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置。本发明包括装置壳体和设置于所述装置壳体内的声学产生及传播装置，本发明在保证高稳定性和高效率的条件下，将锡液体局部加热部分与声学产生装置分隔开，解决了声学产生装置无法在高温下工作的问题。本发明声学产...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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