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本实用新型涉及一种碳化硅生长设备全量程组合式自动温度检测装置，属于碳化硅生长设备技术领域；包括对称设置于长晶炉上盖上端面上的驱动支撑支架以及接近开关支架，上盖在二者之间的区域设置有一个上下贯通的测温孔，驱动支撑支架朝向测温孔的一侧端面上端通...
该专利属于山西烁科晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西烁科晶体有限公司授权不得商用。

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