温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种干燥单元及包括干燥单元的干燥腔及基板处理装置。基板处理装置可包括：包括能够对基板执行所需工程的至少一个工程腔的处理模块、能够将所述基板从外部移送到所述处理模块内的转位模块、以及能够从所述至少一个工程腔去除水分或不必要的气体的干...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。