下载一种硅片传输皮带自动清洁装置的技术资料

文档序号:33837672

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种硅片传输皮带自动清洁装置,其中,硅片传输组件包括尺寸模组和可在水平方向上往复运动的第一上料台;第一上料台上设置有第一传输皮带;第一清洁组件包括第一擦拭臂和第一擦拭海绵;第一擦拭臂的第一端通过固定支架连接在尺寸模组上,第一擦拭臂的第二端延...
该专利属于广东高景太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东高景太阳能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。