下载三维存储器及其形成方法的技术资料

文档序号:33834663

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本发明涉及一种三维存储器及其形成方法。三维存储器的形成方法包括如下步骤:提供衬底;形成位于衬底上方的第一牺牲层、位于第一牺牲层上方的堆叠层、以及至少贯穿堆叠层和第一牺牲层的沟道孔;形成第二牺牲层于沟道孔的底部,使得第二牺牲层的顶面位于衬底的...
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