下载一种简易电磁过滤的镀膜装置的技术资料

文档序号:33832034

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本实用新型提供一种简易电磁过滤的镀膜装置,属于离子镀膜技术领域,其包括具有矩形状空腔的离子镀壳体,离子镀壳体中间设有柱状旋转阴极弧源,矩形状空腔一端封闭且另一端为开口,设有开口的一端为离子出口;柱状旋转阴极弧源放电位朝向离子镀壳体封闭一端,...
该专利属于温州大学所有,仅供学习研究参考,未经过温州大学授权不得商用。

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