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本实用新型公开了一种MOCVD反应室粉尘清理装置，包括收集室、清理结构、抽风机、净化箱、导管、滤网、活性炭网、密封板、滑板、收纳箱、摆动结构和冷却结构。本实用新型的有益效果是：将导管与MOCVD反应室连通，随后启动抽风机，进而MOCVD反应...
该专利属于华厦半导体（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华厦半导体（深圳）有限公司授权不得商用。

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