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本实用新型自适应平参参考面的抛光吸盘，包括装载块，装载块的中部设置有装载槽，装载槽内设置有吸盘设置块，吸盘设置块包括设置于装载槽内的设置块主体，设置块主体上端设置有吸盘承接块，吸盘承接块上设置有吸盘；装载块上对应吸盘承接块设置有调节环台，吸...
该专利属于中环领先半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。

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