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本实用新型公开一种晶圆贴膜设备及其拉膜机构，用于黏膜，此拉膜机构包括承载台、多孔质固定吸板及多孔质活动吸板，多孔质固定吸板固定在承载台一侧；多孔质活动吸板对应承载台另一侧往复移动；其中，多孔质固定吸板与多孔质活动吸板共同吸附所述黏膜的两侧，...
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