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本公开的实施例涉及改善硅光学调制器中调制效率的方法。一种用于形成具有改善的调制效率的硅光学调制器的方法。该方法包括：在SOI衬底中提供硅层；以及形成在硅层中具有肋结构的波导，该肋结构分别与一侧上的第一板形区域和相对侧上的第二板形区域接合，其...
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