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本申请案涉及用于酸敏感溶剂的膜及其用途。本公开提供对实行移除流体组合物中的金属及金属离子污染物有用的某些强阳离子改性离子交换树脂及膜。具有显著减少量的金属的经过滤液体组合物、例如用于移除光致抗蚀剂的液体可用于微电子制造工艺中。本公开的阳离子...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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