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本发明提供基板处理设备及设置在基板处理设备中的装填构件，该设备包括容器，在该容器中形成有密封型处理空间，基板容纳在处理空间；设置在容器的壁的内部的供应端口，以供应处理流体至处理空间；设置在容器的壁的内部并与供应端口间隔开的排放端口；以及设置...
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