温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供在提高附着防止板的维护作业性的同时防止附着防止性能的降低的成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。成膜装置具备：蒸镀源，向基板放出蒸镀物质；以及附着防止板单元，限制基于所述蒸镀源的蒸镀物质的放出范围，其特征在于，所述附着防止板单...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。