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本发明提供了一种周期性结构、隔热装置和晶圆键合装置，所述周期性结构包括若干呈周期性排布的三周期极小曲面结构，所述三周期极小曲面结构具有多个沿X向、Y向和Z向设置的支撑杆，且沿X向和Y向设置的支撑杆的一端均设有沿Z向设置的连接杆。所述隔热装置...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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