下载一种PAD平坦度检测设备及其检测方法的技术资料

文档序号:33795275

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本发明公开的一种PAD平坦度检测设备,包括:依次设置的上料装置、检测装置与下料装置,所述上料装置内部设置有上料输送链,所述上料输送链一侧设置有存料机构,所述存料机构用于存放多个Tray盘,所述存料机构一侧设置有上料机械手,治具平台能够沿所述...
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