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本申请实施例提供一种脱胶装置,包括:硅片作业线;所述硅片作业线依次设置有脱胶工位和擦胶工位;所述脱胶工位用于对盛装在工装篮内的硅片和晶托组件进行脱胶,以使硅片与晶托组件分离;所述擦除工位用于进一步擦除硅片上的残胶;晶托回收线;所述晶托回收线...该专利属于乐山高测新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐山高测新能源科技有限公司授权不得商用。
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本申请实施例提供一种脱胶装置,包括:硅片作业线;所述硅片作业线依次设置有脱胶工位和擦胶工位;所述脱胶工位用于对盛装在工装篮内的硅片和晶托组件进行脱胶,以使硅片与晶托组件分离;所述擦除工位用于进一步擦除硅片上的残胶;晶托回收线;所述晶托回收线...