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本发明提供了一种菱形角度溅射靶材的加工方法，属于靶材制备领域。本发明方法具体包括以下步骤：将靶材胚料上下面经磨削处理，得到达到最终厚度尺寸的靶材；然后将靶材的侧面经磨削处理，得到达到最终长宽尺寸的靶材；再将靶材的侧面经菱形角度边磨削处理，得...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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