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本发明提供一种舟头承载装置、桨臂位置的调节方法及半导体工艺设备，该装置包括用于承载晶舟的桨臂和调节机构，调节机构包括检测单元组、控制单元和两个调节单元，每个调节单元中，夹持部件用于夹持桨臂，且夹持部件沿桨臂的轴向分布；驱动组件与夹持部件传动...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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