下载一种消除缺陷定位误差的方法的技术资料

文档序号:33779750

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本申请提供的一种消除缺陷定位误差的方法,获取缺陷检测状态下薄膜上标定位置M和标定位置N之间的第一距离,及缺陷剔除状态下薄膜上标定位置M和标定位置N之间的第二距离,第一距离不等于第二距离;标定位置M和标定位置N标记在薄膜上用于记录薄膜的长度;...
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