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微差压传感器组件及电子设备制造技术
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文档序号:33776845
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本申请提供一种微差压传感器组件及电子设备。微差压传感器组件包括基板、微机电系统MEMS模块、处理器和MOS管。MEMS模块包括第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元,第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元均设置于MEMS模块的感...
该专利属于上海矽睿科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海矽睿科技股份有限公司授权不得商用。
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