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一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法技术
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下载一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法的技术资料
文档序号:33775212
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本发明提供一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法,包括如下步骤:将待检样品表面抛光后置于扫描电镜的样品台上,样品台倾转60
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该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。
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