下载一种自动化程度高的磷化铟清洗装置的技术资料

文档序号:33770322

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本发明涉及清洗装置技术领域,具体涉及一种自动化程度高的磷化铟清洗装置。本发明涉及一种自动化程度高的磷化铟清洗装置,包括:清洗部包括:预洗池、上料组件和若干清洗组件,预洗池呈矩形,预洗池上端敞口,预洗池内适于盛放清洗溶液;上料组件可升降的设置...
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