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本发明公开了一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，主要包括(1)、将产线三氯化铁蚀刻液溢流至蚀刻废液储存桶；(2)、蚀刻废液储存桶与萃取槽连接，循环萃取，萃取后的水相低铜蚀刻液输送至氧化槽，经氧化后低铜蚀刻液返回至产线；(3)、油相进...
该专利属于斯瑞尔环境科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯瑞尔环境科技股份有限公司授权不得商用。

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