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本申请实施例提供一种晶圆键合设备及方法，晶圆键合方法包括：利用第一类光束，确定第一晶圆上的第一对准标记的第一位置参数；利用所述第一类光束，确定第二晶圆上的第二对准标记的第二位置参数；根据所述第一位置参数和所述第二位置参数，将所述第一晶圆和所...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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