下载一种非制冷红外探测器及其制作方法的技术资料

文档序号:33766324

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本发明涉及红外探测器领域,具体涉及一种非制冷红外探测器及其制作方法,包括读出电路、MEMS器件和盖帽,盖帽的内侧设有第一吸气剂层,读出电路上对应MEMS器件的位置处设有第二吸气剂层;具体是先在读出电路上对应MEMS器件的位置处制作第二吸气剂...
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