下载用于监测激光加工头上的盖玻片的污染物的感测布置的技术资料

文档序号:33764794

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一种感测设备监测激光加工头上的盖光学器件的污染物,从而指示需要更换所述盖光学器件。所述设备包括至少一个反射器和至少一个传感器,所述至少一个反射器和至少一个传感器设置在所述加工头中邻近所述盖光学器件的周边。所述反射器反射来自所述激光束的辐射,...
该专利属于II-VI特拉华有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过II-VI特拉华有限公司授权不得商用。

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