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一种薄膜体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该薄膜体声波谐振器包括基底以及依次设于基底上的下电极层、压电层和上电极层；其中，基底内具有谐振器的空腔结构，下电极层通过穿设于压电层内的引出金属引出至压电层靠近上电极层的一侧，基底内集成有电...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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