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包含支撑结构的存储器装置制造方法及图纸
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下载包含支撑结构的存储器装置的技术资料
文档序号:33764516
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本申请涉及包含支撑结构的存储器装置。一些实施例包含设备和形成所述设备的方法。所述设备中的一者包含:相应存储器单元层面及控制栅极,所述层面在衬底上方彼此上下叠放,所述控制栅极包含最靠近所述衬底的控制栅极,所述控制栅极包含形成阶梯结构的相应部分...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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