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一种灯丝辅阳离化多弧离子镀结构装置。本实用新型针对已有多弧离子镀对于反应性气体离化率低的问题。本实用新型包括灯丝、辅阳法兰、辅阳进水管、辅阳出水管等，辅阳法兰通过辅阳绝缘片可拆卸密封安装在真空室中心顶壁上，辅阳电源的阴极和阳极分别连接真空室...
该专利属于黑龙江工程学院所有，仅供学习研究参考，未经过黑龙江工程学院授权不得商用。

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