下载一种铌酸锂电光调制器及其制备方法的技术资料

文档序号:33761490

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种铌酸锂电光调制器,包括衬底、基于绝缘体上铌酸锂薄膜(LNOI)制成的脊型波导、电极、电介质(Dielectrics)以及覆盖层。其中,铌酸锂薄膜置于一层微米厚度的绝缘体上,绝缘层为二氧化硅,铌酸锂薄膜的厚度为300
...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。